氮化硅陶瓷制作工藝流程

制備工藝流程：鹵化硅氨解法：鹵化硅氨解法是指(1)硅的鹵化物（SiCl4、SiBr等）或硅的氫鹵化物（SiHCl3、SiH2Cl2、SiHI等）與氨氣或者氮?dú)獍l(fā)生化學(xué)氣應(yīng)，生成氮化硅；或者(2)在低溫下先由硅的鹵化物或氫鹵化物生成硅亞胺，再由硅亞胺加熱分解得到氮化硅兩種反應(yīng)方法的反應(yīng)方程式如下所示：因?yàn)?1)中反應(yīng)物是鹵化硅和氨氣，又是在氣相中反應(yīng)，通常可以制得高純的α-Si3N4或無(wú)定形氮化硅粉末而(2)反應(yīng)的關(guān)鍵是要制得純的硅亞胺，通過(guò)硅亞胺的熱分解可以直接制得很純的α-Si3N4粉末；反應(yīng)速度也比較快，至今已開(kāi)始應(yīng)用于生產(chǎn)非晶氮化硅薄膜如果作為合成氮化硅微晶的方法，此路徑相對(duì)比較長(zhǎng)，且需要低溫條件。

燒結(jié)工藝流程：反應(yīng)燒結(jié)法（RS) 是采用一般成型法，先將硅粉壓制成所需形狀的生坯，放入氮化爐經(jīng)預(yù)氮化（部分氮化）燒結(jié)處理，預(yù)氮化后的生坯已具有一定的強(qiáng)度，可以進(jìn)行各種機(jī)械加工（如車、刨、銑、鉆).后，在硅熔點(diǎn)的溫度以上；將生坯再一次進(jìn)行完全氮化燒結(jié)，得到尺寸變化很小的產(chǎn)品（即生坯燒結(jié)后，收縮率很小，線收縮率該產(chǎn)品一般不需研磨加工即可使用反應(yīng)燒結(jié)法適于制造形狀復(fù)雜，尺寸**的零件，成本也低，但氮化時(shí)間很長(zhǎng)。